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超純水在太陽能行業(yè)、硅片切割行業(yè)的應用半導體晶片切割制造用水工藝、半導體芯片清洗

來源:濟南純水設備??????2021/3/23 11:32:41??????點擊:
濟南純水設備 http://weilisj.com超純水應用范圍概述:

電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗

電子管生產 電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

顯像管和陰極射線管生產 配料用純水

純水設備黑白顯像管熒光屏生產 玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水

液晶顯示器的生產 屏面需用純水清洗和用純水配液

晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制

集成電路生產中高純水清洗硅片

二、典型工藝流程

    預處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象 (18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

      預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.20.5μm精密過濾器-用水對象(18MΩ.CM)(最新工藝)

      預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節(jié))-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.20.5μm精密過濾器-用水對象(17MΩ.CM) (最新工藝)    

        預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.20.5μm精密過濾器-用水對象(15MΩ.CM)(最新工藝)

    純水設備處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象 (15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

三、達到標準

  顯像管、液晶顯示器用純水水質(經驗數(shù)據)

    集成電路用純水水質

    國家電子級純水標準

    美國SEMI標準

高純水的制備上。純水設備,北京純水設備天津水處理設備,天津去離子水設備。醫(yī)院用純化水設備 實驗室純水設備,醫(yī)用GMP純化水設備。

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